Mems bosimi sensori nima?
Memflar - mikro elektrotexnika tizimlarining qisqartmasi, ya'ni mikroelektrostromexnika tizimlari. XVII asrda Mems texnologiyasi 21-asrda - Texniklardan biri sifatida qabul qilinadi va 1950 yillarga qaytishi mumkin.
Mikroelektromexnika tizimlari (Mems) Texnologiya mikron / nanometr materiallari ishlab chiqarish, ishlab chiqarish, o'lchash va nazorat qilish texnologiyasini anglatadi.
Mems bosimi mikroelektronika texnologiyalari va mikroitar mikrolak mikrolakli mikroektilayotgan texnologiyani (silikonli mikrolak mikrolakik, bog'lovchi va boshqa texnologiyalarni) birlashtiradigan ishlab chiqarish jarayonida ishlab chiqariladigan bosim bosimli bosimli bosim bosimli bosim bosimli bosimli bosimli bosimli bosimli bosimli bosimli bosimdosh. Mems bosimi sensori hajmi, aniqligi va javob tezligi kabi turli jihatlarda ajoyib ishlashini namoyish etadi.
Mems bosimli sensorlarning tasnifi
Turli xil ish printsiplariga asoslanib, kremniy materiallari asosida dumlar bosimi uch toifaga bo'linishi mumkin: kremniy pizezistristiv turi, kremniylar yoki kremniy rezonans turi.
Kremniy piezordistristiv bosimli sensorlar
Piezorodsion effekt hodisani anglatadi, bu yarimo'tkazgichli material stressga duch kelganda, u energiya o'zgarishi, vodiylarning energiya siljishi va shu bilan yarimo'tkazgichning chidamliligiga chidamliligini o'zgartiradi.
Piezorodiv bosim bosimli sensori piezordiv ta'siridan foydalanish orqali ishlab chiqilgan bosim bosimi. Unda kichik o'lcham, yuqori sezgirlik va tezkor javob beradi. Biroq, uning ishlab chiqarish jarayoni murakkab va uni harorat va tebranish orqali osonlikcha ta'sir qiladi, shuning uchun harorat qoplanishini talab qiladi.
Kremniy yo'l-yo'riqli bosimli sensorlar
Silikon ishlab chiqarishga bosimli bosim sensori - bu kremniy materiallarini elementlarni his qilish va samaraliroq miqdorini undirish uchun o'zgartirish kiritadi.
Umuman olganda, u elektr tolasi yoki metall {{0} - plyonkaning bitta elektrod sifatida ishlaydi. Film bosimning ta'siri ostida deformatsiyalar, film va robali elektrod o'zgarishi o'rtasida hosil bo'lgan samaralar. Videokilm bilan bog'liq bo'lgan elektr signallari yordamida voltaj bilan bog'liq elektr signallari chiqishi mumkin.
Ushbu turdagi sensorning afzalliklari yuqori sezuvchanlik, yaxshi barqarorlik va keng chiziqli oralig'ini o'z ichiga oladi. Biroq, uning kamchiliklari nisbatan yuqori narxga ega va harorat va namlik tufayli osonlikcha ta'sir qiladi.
Kremniyning rezonansidagi bosim sensorlari
Silikonning rezonans bosimi bosimi bosim bosimining turidir, bu esa kremniy moddasi tashqi bosimning tashqi bosimining o'zgarishi, rezonatorning rezonansining rezonanslash chastotasidagi o'zgarishlarni rezonans chastotasidagi o'zgarishiga olib keladi.
Silikonning rezonansining rezonansi bosimi yuqori aniqlik, yuqori aniqlik, yuqori aniqlik, yuqori darajadagi, yuqori darajadagi, yuqori darajadagi, yuqori - masofaviy uzatish qobiliyati va raqamli qurilmalarga to'g'ridan-to'g'ri bog'liq bo'lishi mumkin. Biroq, u uzoq ishlab chiqarish tsikliga, yuqori xarajat va mahsulot chastotasi va o'lchanadigan miqdor ko'pincha notekis munosabatlarga ega.
Piezorodiv bosimli sensorlarning ishlash printsipi
Piezorodiv bosimli bosimning sezgirligining nozik elementi sezgir chip va qo'llab-quvvatlanadigan substratdan iborat. Sezgir elementning boshlang'ich belgilari parametrlari sensorning bir nechta asosiy parametrini mustahkamlaydi va sensorning yadrosi.
Silikon piezorodrialistik bosim - sezgir element va konversiya elementlari bir xil - CRRESTRAL SUPRACTIONDA BOSHQARADI. Bosim bosimi uchun sezgir element - bu elastik kremniy diafragmasi muhrlangan va mahkamlangan periferiya bilan. Diafragmaning orqa tomonidagi krifragmadagi silika materiallari invertiv kvartalcha - piramida - - - - - - - po'shtni hosil qilish uchun olib tashlanadi. Silikon elastik diafragmlari turli xil qalinlikdagi turli xil o'zgarishlar, sezgirlik va ortiqcha yuklarning o'zgarishi.
Diafragma atrofidagi qo'llab-quvvatlovchi yo'laklarning kuchini optimallashtirish uchun, qattiq qadoqlash stressini izolyatsiya qilish va chipning elektr izolatsiyasi, chipning elektr izolatsiyasi. Laminatsiyasidan keyin bo'shliq bilan bog'langan chiplar atrof-muhitni o'lchash uchun bog'langan chiplar, atrof muhitdagi atmosfera bosimidan ajratilishi mumkin.
Shifrlangan kremniy piezordon piezordon piezordon piezorody rezervatorlari elektr signallariga aylantiradigan tekis diafragmaning yuqori yuzasi qatlamida joylashgan. Oddiy dizayn, piezordiv reaktivlarni tekis diafragmaning yoki markazi yaqinida yoki markaziga joylashtirish. O'lchovga olib keladigan bosimning ta'siri ostida, diafragmaning mayda burilishining kichikligini, ya'ni bosimning o'zgarishi bilan chiziqli ravishda o'zgaruvchan bo'lgan elektr signalini o'zgartirganda, elektr signalini o'zgartirganda, bu bosimning o'zgarishi bilan 500 mikrositar signalizatsiya qilinadi.
Chipning o'lchovini o'lchashni optimallashtirish uchun, samolyotda to'rtta piizrorody sezgirlikli rezistorlar, samolyotda bug'doy tosh ko'prigi hosil qilish uchun joylashtirilgan. O'lchovli bosim qo'llanilganda, qarama-qarshi qurollarning bir juftining qarshiligi pasayadi, bu esa bug'doy toshini bulg'anchning ta'siri o'lchanadi va o'lchanadigan bosim bilan yonma-yon chiqadi.
Piezordiv bosimli bosimning qo'llanilishi
Piizorodiv bosimli bosimli bosimli sensorlar aerokosmiya, navigatsiya, neft-kimyo va avtomatlashtirish, suv konservatsiyasi, meteorologiya, geologiya, zilzila o'lchovi va boshqalar kabi keng qo'llaniladi.