Bosimni o'lchash sohasida buzuvchi texnologiya sifatida,kremniyning rezonansidagi bosim sensoriSanoatni o'lchash va boshqarish tizimini hayratda qoldiradigan va barqarorlik bilan o'zgartirish. Micro - - texnika tizimiga asoslangan bu aniqlikdagi mexanik tizim (MEMS) Texnologiyalar, masalan, Aerospaces, Energetika va kimyoviy muhandislik va biotibchikani va biotibmicine kabi tugallanma jarayonlari printsipini juda mos keladi.
I. Jismoniy tamoyil va yadro arxitekturasi
Silikonning rezonansining rezonansining asosiy mexanizmi rezonans chastota va stress o'rtasidagi bog'liqlik munosabatlariga asoslangan. Vakuum kamerasida doimiy ravishda tebranish uchun doimiy ravishda tebranish paytida doimiy ravishda tebranish paytida doimiy ravishda tebranadigan kristalli kremniy materialidan yasalgan karonal nur tuzilishi xususiyatlari mavjud. Sensor diafragmasida tashqi bosimning tashqi bosimi, mexanik stress rezonanant nurining qattiqligi o'zgaradi, natijada uning tabiiy chastotasi pasayishiga olib keladi. Ushbu chastota o'zgarishi amaliy bosim bilan mos keladigan mos keladigan munosabatlarga ega. Tuman orqali chastota qoplamasini aniqlab berib, bosim qiymatini aniq belgilash mumkin.
Oddiy tuzilish uchta asosiy modullardan iborat:
Bosim - sezgir diafragma: Bosim signallarini mexanik stressga o'zgartiradigan 3 - 8 mm diametri bo'lgan kremniy yupqa {- plyonka.
Rezonans osicator: A h - shaklidagi kremniy nurlari faqat 20 - 50} mkm qalinligida 10 - 100}} chastotasida ishlamoqda.
Yopiq - Coop qo'zg'alishi tizimi: Pieezorody hayajonli qo'ziqorinlarni va barqaror rezonans holatini saqlab qolish uchun chastotani aniqlash zalini birlashtiradi.
II. Maydoni texnologik afzalliklar
Anjuareistristiv sensorlar bilan taqqoslaganda, kremniy rezonansining texnologik texnologiyasi miqdoriy sakrashga erishdi:
Uning noyob afzalliklari uchta asosiy yangilikdan:
1. Belgilanganligi belgilari: - Raqamli chastota signalining aralashuv qobiliyati bu analog kuchlanish chiqishidan yuqori bo'lgan ikkita buyruqdir.
2. Dizayn dizayni: ikki tomonlama rezonans bilan dizaynning differentsial tuzilishi qabul qilinadi, haroratni tezlashtirish samaradorligi 98% dan oshadi.
3. - Amalga oshirilgan ishlov berish: chuqur reaktiv ionni boshqarishning aniqligi (Drie) jarayonining aniqligi ± 0,1 mkm ga etadi.
III. Texnologik evolyutsiya yo'nalishlari
Chegara tadqiqotlari to'rtta katta yutuqlarga e'tibor qaratadi:
1.Wide - Harorat - - insuukur substratida -} -} {}} insuticature substrati, harorat harorati - 200 darajasi 600 darajaga uzaytiriladi.
2.Multi - O'lchovlar: Bosim, harorat va oqim tezligini bir vaqtning o'zida parametrlarni o'lchash uchun 3D rezonans strukturasi ishlab chiqilgan.
3. Fotorceone rezonansi: 10 - 6 Hz 2-chastotali barqarorlikka erishish uchun opomekanexanik almashtirish tizimi joriy qilingan.
4. O'zidan - Quvvatli tizim: piezoelektrik energiya yig'im-yig'imining passiv Internetini (iot) passiv Internetini qurish uchun o'rnatiladi.
IV. Chiqish - EDGE dasturiy stsenariylari
Aero - dvigatellar monitoringida Silikon rezonansidagi sensorlar 2,0 darajadagi yuqori - haroratli gazni dinamik bosimni aniqlash mumkin. Ular hali ham 1 MGts tanlab olish chastotasida 0,05% aniqlikka ega. Dengiz neft va gaz konlarida dengizda joylashgan sensorlar Titan qotishmasi 5 yil davomida 5 yil davomida 6000 metrdan oshmasligi kerak, bu esa 0,03% dan oshmasligi kerak. Tibbiyot sohasida implantatsiya qilinadigan qon bosimi monitoringi tizimi paydo bo'ldi. A 3 mm × 2mm sensor chipi to'g'ridan-to'g'ri 365 - Weall Balcument-ga to'g'ridan-to'g'ri intellektual ravishda va - chastotali versiyalari bilan 10 mindan kamroq miqdordagi elektr toki orqali o'tishni ta'minlaydi. Sanoat 4.0 kontekstida sensor tarmoqlari mikro {{20} - REAL {{22} tartibi vaqtini ushlab turishi va quvurlar to'kilishining muddati 48 soatda erta ogohlantirishni ta'minlaydi.
Atrof-muhit monitoringi sohasida tarqatilgan sensor tarmoqlari 0,5 km bo'lgan atmosfera bosimi maydonini - - - - - - - - - - - - - - - - bilan to'fonning prognozi uchun yangilangan ma'lumotlar keltirishi mumkin. Avtomobilsozlik o'zgarishni yoqish arafasida. Keyingi - avlod aqlli shinalar 32 ta rezonansli shinalar, shinalardagi tiniq taqsimotni tomosha qilish uchun, shinani qo'llab-quvvatlash uchun 32 ta rezonanschilar bilan birga, shinani qo'llab-quvvatlashga undaydi.
Xulosa
Yarimo'tkazgichlar sanoatidan kelib chiqqan ushbu aniqlik sezish texnologiyasi jismoniy dunyoning raqamli chegarasini qayta tuzadi. Mexanik tebranishlar va elektron signallar mikro - miqyosda resurslar bilan rezonanslashadi, bosimning mohiyatini inson tushunishi kvantning aniqligini keltirib chiqardi.